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首台2.5D/3D先进封装光刻机发运 可用于高端AI芯片

据CINNO报道,2022年2月7日上海微电子举行了中国首台2 5D 3D先进...

新一代先进封装光刻机推出 可满足0.8μm分辨率光刻工艺需求

据上海微电子装备集团官方消息,9月18日,上微举行新产品发布会,宣...

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